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文章出處：技術(shù)支持|閱讀量：1992|發(fā)表時間：2022-06-07
近年來，隨著半導體、顯示面板等微電子行業(yè)的發(fā)展，潔凈室廣泛應用于半導體生產(chǎn)車間及實驗室里，越來越多生產(chǎn)工藝工程師、工程技術(shù)人員也接觸并認識了潔凈室。潔凈室技術(shù)是以生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)為主要目的。半導體生產(chǎn)制造按照其制造技術(shù)可以分為：集成電路器件、分立器件、光電半導體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等大類，如若細分還會有更多的分類方式。半導體器件的生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境要求很嚴，其涉及數(shù)百個制造工序，由于其生產(chǎn)技術(shù)的特殊性，為了產(chǎn)品的質(zhì)量及使用壽命，對生產(chǎn)場所的環(huán)境，如溫度、濕度，壓力、通排風量、潔凈度等都有嚴格要求。>>>商務洽談，點此處，在線咨詢
半導體集成電路芯片生產(chǎn)廠房在工業(yè)建筑中屬潔凈建筑,相對其它工業(yè)建筑它的內(nèi)部裝修設計難度較大。集成電路芯片生產(chǎn)過程中工藝流程一般會出現(xiàn)多次交叉反復。像芯片生產(chǎn)過程中的光刻、腐蝕、擴散、蒸發(fā)、表面純化等,工藝流程上都會往復交叉頻繁。在設計上要求空間的潔凈度對各工序均滿足生產(chǎn)要求。對此類車間比較常用的手法是吸取國外的先進經(jīng)驗。像芯片生產(chǎn)工序廠房整個潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈等級均按100級設計,個別10級區(qū)域只需要用設備手段解決，不用專門設置這個潔凈級別的潔凈室。其他工序生產(chǎn)環(huán)境要求隨生產(chǎn)工藝而定，潔凈度的要求也并不是越高越好，潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會成倍的增加。各中取舍指導項目需求方可以參照CEIDI西遞設計師的建議綜合。
一般在達到百級的半導體潔凈室平面裝修方案中，設計師會依然會和千級、萬級、十萬級等潔凈標準一樣依據(jù)人流和物流凈化流向來做精確的平面布局和配套系統(tǒng)設計：
工作人員的凈化路線為：
入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風淋室→潔凈生產(chǎn)區(qū)。
物品的凈化路線為:
入口→原料庫→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產(chǎn)區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫。
按照兩種凈化路線，分別依工藝布局潔凈區(qū)與輔助用房。其他空氣凈化機房、超純水處理站可以安排在同一層，使?jié)崈艨諝狻⒓儍羲ㄟ^技術(shù)管道夾層送到潔凈生產(chǎn)區(qū)。消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機房、配電室、防排煙機房、生活用房、值班室、衛(wèi)生間等都需依據(jù)“建筑設計防火規(guī)范”和“潔凈廠房設計規(guī)范”的要求設置布局。
在配套系統(tǒng)技術(shù)層面，以暖通空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能布局來說，平面分區(qū)也要以下列內(nèi)容為參照依據(jù)：
1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。
3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設計為一個系統(tǒng)。
7、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設系統(tǒng)，而且應為不回風的直流系統(tǒng)。
半導體車間的建設涉及的專業(yè)內(nèi)容很多，譬如在各種生產(chǎn)和封裝過程中建立起靜電防護系統(tǒng)也很有必要，像IC封裝生產(chǎn)線對靜電的更為嚴格。為了保證生產(chǎn)線的正常運行，CEID西遞這類潔凈廠房集成服務商還會對其建設的潔凈廠房進行防靜電建設，當中也會涉及很多專用材料的篩選、結(jié)構(gòu)維護工程、暖通工程、特種氣體工程、空壓氣體工程、廢氣工程、電氣工程、弱電系統(tǒng)工程、智能平臺、純水工程及廢水處理工程這些配套系統(tǒng)，如何讓這些系統(tǒng)更好的服務于每個車間，以達到半導體廠房整體既滿足工藝和產(chǎn)能需求，還盡可能地實現(xiàn)節(jié)能減排要求，可以多借鑒CEIDI西遞的建設經(jīng)驗。
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